薛曜（？-704年），字異華，蒲州汾陰（今山西萬榮縣）人。唐朝大臣，中書令薛元超長子。世為儒雅之家，以文學知名。附會張易之，官至正諫大夫。著有《三教珠英》，文集二十卷，《全唐詩》收錄五首。工于書法，成為瘦金體之祖。

薛曜為薛元超長子，褚遂良乃其舅祖，生平事跡，史記不詳。

可知者為王勃文友。咸亨初年，曾與之游于四川錦州，王勃有送別詩二首記其事。萬歲登封年間(696)，任春宮郎中(禮部郎中)。神功年間(697)，改正議大夫，與再從弟中書舍人薛稷并以辭學知名朝野。圣歷二年(699)，為奉宸大夫，與天下名士李嶠、員半千、閻朝隱、沈銓期、徐堅、張說、劉知幾、宋之問、富嘉謨等二十六人共撰《三教珠英》，凡 1300卷。久視元年(700)五月十五日，侍從武則天游幸登封石淙山，應制《奉和圣制夏日游石淙山詩》，并奉敕正書武后與諸侍從大臣的唱和詩。其后行蹤無考，或即卒于長安末年(703—704)。河南登封所立《封祀壇碑》，遒密有致，為其代表作。

薛曜與薛稷同一師承，書學褚遂良，瘦硬有神,用筆細勁,結體疏朗，但較褚書險勁，更纖細，在當時享有大名，被后人評為“瘦金體之祖”（宋徽宗趙佶真書學薛曜，自創(chuàng)“瘦金體”）。他對褚書不作亦步亦趨的模仿，而是加以發(fā)揮，有所創(chuàng)造，然亦成習氣，為褚書末流。